株式会社アテナシス（ATHENASYS Co., Ltd.）

What's new and coming ?

	フィラメントモデルを利用したシャワーヘッドの三次元シミュレーション（2/19 up）
	プラズマ・熱CVD のシミュレーションを始める際に参考となる情報源（1/7 up）
	スライディンググリッドを使った移動体に対する誘導加熱の非定常解析（5/23 up）
	ICP の非定常解析：その2 （2/13 up）
	CCP（ GECRC ）の計算例 ( 11/9 更新（Stochastic Heating を考慮） )
	ICP の放電開始から周期定常に至るまでの非定常解析 ( 9/21 更新 )
	CVD装置のテーパーを有するガスノズル形状の検討（ 6/12 更新）
	過去の主な更新履歴はこちら

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アテナシスでは，半導体製造装置に関わる実験や計測の経験に加え，装置・反応炉の熱解析，
CVD・プラズマ・エッチング等のシミュレーションから培ったノウハウを生かし，
流体・CAE/CFD ソフトウェアを有意義なツールとして活用することで，
お客様と一緒に成果を積み重ねるお手伝いを致します．